Технологические основы формирования микросетчатых прозрачных электродов при помощи самоорганизованного шаблона и исследование их свойств

Представлены результаты исследования физических свойств микросетчатых прозрачных электродов на гибкой подложке, полученных с использованием в качестве шаблона контролируемым образом растресканных слоев кремнезема. Впервые предложен комбинированный подход к управлению параметрами микросетчатой структуры (ширина трещины и размер ячейки) с помощью варьирования pH и толщины слоя золя. На основе описанного подхода получены прозрачные электроды с поверхностным сопротивлением 4.1 $\Omega$/sq при прозрачности 85.7%. Микросетчатые электроды характеризуются линейным оптическим пропусканием в видимом и ИК-диапазонах, что открывает перспективы для их применения в оптоэлектронике.