Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 9, страницы 26–29
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.09.47709.17722 (Mi pjtf5449) 		 
Особенности импульсного лазерного отжига пленок ВС$_{3}$ на сапфировой подложке

В. Ю. Фоминскийa, Р. И. Романовa, A. A. Соловьевa, И. С. Васильевскийa, Д. А. Сафоновa, А. А. Ивановa, П. В. Зининb, В. П. Филоненкоc

a Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
b Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН
c Институт физики высоких давлений им. Л. Ф. Верещагина РАН
PDF полного текста (369 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.09.47709.17722
Аннотация: Исследованы морфология, химический состав, микроструктура и электрические свойства тонких пленок ВС$_{3}$, подвергнутых плавлению наносекундным лазерным импульсом. Исходные пленки создавались импульсным лазерным соосаждением В и С на сапфировую подложку при 150 и 350$^\circ$C. Морфологические изменения в пленках зависели от их исходного структурного состояния. Однако “замораживаемая” после облучения структура в обеих пленках соответствовала В-насыщенной графитоподобной фазе, локальный состав которой варьировался вследствие образования включений аморфного карбида бора. До и после облучения пленки проявляли слабо убывающую с ростом температуры от 4.2 до 330 K зависимость поверхностного сопротивления. После лазерного облучения сопротивление пленок уменьшилось в $\sim$2.6 раза.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 17-12-01535
Министерство образования и науки Российской Федерации 3.4639.2017/6.7
Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ (грант 17-12-01535). В.Ю. Фоминский благодарит Министерство науки и высшего образования РФ за поддержку в рамках работы “Организация проведения научных исследований” (3.4639.2017/6.7).
Поступила в редакцию: 01.02.2019
Исправленный вариант: 01.02.2019
Принята в печать: 13.02.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 5, Pages 446–449
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019050055
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Ю. Фоминский, Р. И. Романов, A. A. Соловьев, И. С. Васильевский, Д. А. Сафонов, А. А. Иванов, П. В. Зинин, В. П. Филоненко, “Особенности импульсного лазерного отжига пленок ВС$_{3}$ на сапфировой подложке”, Письма в ЖТФ, 45:9 (2019), 26–29; Tech. Phys. Lett., 45:5 (2019), 446–449
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FomRomSol19}
\by В.~Ю.~Фоминский, Р.~И.~Романов, A.~A.~Соловьев, И.~С.~Васильевский, Д.~А.~Сафонов, А.~А.~Иванов, П.~В.~Зинин, В.~П.~Филоненко
\paper Особенности импульсного лазерного отжига пленок ВС$_{3}$ на сапфировой подложке
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 9
\pages 26--29
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5449}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.09.47709.17722}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=39133926}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 5
\pages 446--449
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019050055}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5449
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i9/p26
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025