Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 10, страницы 7–8
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.10.47747.17617 (Mi pjtf5429) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Влияние разряда на температуру подложки при напылении пленки

В. Б. Широковab, С. П. Зинченкоab

a Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону
b Южный федеральный университет, г. Ростов-на-Дону
PDF полного текста (330 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.10.47747.17617
Аннотация: Исследован процесс нагрева подложки на начальном этапе синтеза пленки методом катодного высокочастотного распыления мишени. С помощью оптического интерферометрического метода определена температура, до которой разогревается подложка при включении разряда. В рабочем режиме напыления пленки титаната бария-стронция на подложку оксида магния температура превышает тысячу градусов по шкале Цельсия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 01201354247
Работа выполнена в рамках реализации госзадания ЮНЦ РАН (проект № 01201354247).
Поступила в редакцию: 03.12.2018
Исправленный вариант: 20.02.2019
Принята в печать: 20.02.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 5, Pages 478–480
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019050316
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Б. Широков, С. П. Зинченко, “Влияние разряда на температуру подложки при напылении пленки”, Письма в ЖТФ, 45:10 (2019), 7–8; Tech. Phys. Lett., 45:5 (2019), 478–480
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShiZin19}
\by В.~Б.~Широков, С.~П.~Зинченко
\paper Влияние разряда на температуру подложки при напылении пленки
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 10
\pages 7--8
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5429}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.10.47747.17617}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=39133959}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 5
\pages 478--480
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019050316}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5429
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i10/p7
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:40
    PDF полного текста:8
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024