Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 13, страницы 44–47
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.13.47958.17743 (Mi pjtf5395) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Оценка толщины тонких пленок на основе данных элементного состава пленочных структур

Ю. М. Николаенко, А. С. Корнеевец, Н. Б. Эфрос, В. В. Бурховецкий, И. Ю. Решидова

Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина НАН Украины
PDF полного текста (109 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.13.47958.17743
Аннотация: Показана возможность количественной оценки толщины тонких пленок по данным измерений катионного состава пленочных структур с помощью энергодисперсионного спектрометра INCA Energy-350, входящего в состав электронного микроскопа JSM-6490 LV (Япония). Применение данного метода особенно актуально при невозможности обеспечить достаточный контраст между полученными с помощью сканирующего электронного микроскопа изображениями участков пленки и подложки на поперечном сколе пленочной структуры.
Ключевые слова: сканирующий электронный микроскоп, энергодисперсионный рентгеновский спектрометр, нанотолщинные пленки, магнетронный метод распыления мишени.
Поступила в редакцию: 21.02.2019
Исправленный вариант: 08.04.2019
Принята в печать: 11.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 7, Pages 679–682
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019070083
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Ю. М. Николаенко, А. С. Корнеевец, Н. Б. Эфрос, В. В. Бурховецкий, И. Ю. Решидова, “Оценка толщины тонких пленок на основе данных элементного состава пленочных структур”, Письма в ЖТФ, 45:13 (2019), 44–47; Tech. Phys. Lett., 45:7 (2019), 679–682
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{NikKorEfr19}
\by Ю.~М.~Николаенко, А.~С.~Корнеевец, Н.~Б.~Эфрос, В.~В.~Бурховецкий, И.~Ю.~Решидова
\paper Оценка толщины тонких пленок на основе данных элементного состава пленочных структур
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 13
\pages 44--47
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5395}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.13.47958.17743}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41131106}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 7
\pages 679--682
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019070083}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5395
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i13/p44
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:46
    PDF полного текста:46
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024