Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 16, страницы 41–44
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.16.48156.17873
(Mi pjtf5351)
 

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Особенности структуры и свойств тонких пленок цирконата-титаната свинца с сильно неоднородным распределением состава по толщине

Д. М. Долгинцевa, М. В. Старицынab, В. П. Пронинa, Е. Ю. Каптеловac, С. В. Сенкевичac, И. П. Пронинca, С. А. Немовd

a Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
b НИЦ "Курчатовский институт" – Центральный научно-исследовательский институт конструкционных материалов "Прометей" им. И.В. Горынина, Санкт-Петербург, Россия
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Аннотация: При варьировании давления рабочего газа в установке высокочастотного магнетронного распыления осаждались тонкие пленки цирконата-титаната свинца, состоящие из двух слоев, в которых содержание свинца различалось на 20%. Проведено сравнительное исследование фазового состояния, состава и диэлектрических свойств двухслойных структур, различающихся последовательностью осаждения этих слоев. Показано, что в зависимости от очередности расположения слоев существенно изменяются условия кристаллизации фазы перовскита и униполярные свойства пленок.
Ключевые слова: высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки PZT, неоднородное распределение свинца по толщине.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 14.595.21.0004
16.2811.2017/4.6
Экспериментальные исследования выполнены с использованием оборудования ЦКП НИЦ “Курчатовский институт” – ЦНИИ КМ “Прометей” при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках соглашения № 14.595.21.0004 (уникальный идентификатор RFMEFI59517X0004). Работа выполнена в рамках проектной части госзадания (проект № 16.2811.2017/4.6).
Поступила в редакцию: 08.05.2019
Исправленный вариант: 08.05.2019
Принята в печать: 21.05.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 8, Pages 839–842
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019080200
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. М. Долгинцев, М. В. Старицын, В. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, С. А. Немов, “Особенности структуры и свойств тонких пленок цирконата-титаната свинца с сильно неоднородным распределением состава по толщине”, Письма в ЖТФ, 45:16 (2019), 41–44; Tech. Phys. Lett., 45:8 (2019), 839–842
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DolStaPro19}
\by Д.~М.~Долгинцев, М.~В.~Старицын, В.~П.~Пронин, Е.~Ю.~Каптелов, С.~В.~Сенкевич, И.~П.~Пронин, С.~А.~Немов
\paper Особенности структуры и свойств тонких пленок цирконата-титаната свинца с сильно неоднородным распределением состава по толщине
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 16
\pages 41--44
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5351}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.16.48156.17873}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41131230}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 8
\pages 839--842
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019080200}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5351
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i16/p41
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:49
    PDF полного текста:16
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024