|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Особенности структуры и свойств тонких пленок цирконата-титаната свинца с сильно неоднородным распределением состава по толщине
Д. М. Долгинцевa, М. В. Старицынab, В. П. Пронинa, Е. Ю. Каптеловac, С. В. Сенкевичac, И. П. Пронинca, С. А. Немовd a Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
b НИЦ "Курчатовский институт" – Центральный научно-исследовательский институт конструкционных материалов
"Прометей" им. И.В. Горынина, Санкт-Петербург, Россия
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Аннотация:
При варьировании давления рабочего газа в установке высокочастотного магнетронного распыления осаждались тонкие пленки цирконата-титаната свинца, состоящие из двух слоев, в которых содержание свинца различалось на 20%. Проведено сравнительное исследование фазового состояния, состава и диэлектрических свойств двухслойных структур, различающихся последовательностью осаждения этих слоев. Показано, что в зависимости от очередности расположения слоев существенно изменяются условия кристаллизации фазы перовскита и униполярные свойства пленок.
Ключевые слова:
высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки PZT, неоднородное распределение свинца по толщине.
Поступила в редакцию: 08.05.2019 Исправленный вариант: 08.05.2019 Принята в печать: 21.05.2019
Образец цитирования:
Д. М. Долгинцев, М. В. Старицын, В. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, С. А. Немов, “Особенности структуры и свойств тонких пленок цирконата-титаната свинца с сильно неоднородным распределением состава по толщине”, Письма в ЖТФ, 45:16 (2019), 41–44; Tech. Phys. Lett., 45:8 (2019), 839–842
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5351 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i16/p41
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 49 | PDF полного текста: | 16 |
|