Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 18, страницы 3–5
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.18.48227.17879 (Mi pjtf5313) 		 
Глубокая 3D-рентгенолитография на основе высококонтрастного рентгенорезиста

В. П. Назьмов

Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, г. Новосибирск
PDF полного текста (437 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.18.48227.17879
Аннотация: В классической рентгеновской литографии рентгеновская маска и слой резиста располагаются перпендикулярно рентгеновскому лучу, который, поглощаясь в слое резиста, инициирует вдоль своего пути отклик в форме, соответствующей его поперечному сечению. Однако наклон и поворот маски/резиста, а также несколько экспозиций, проведенных последовательно, позволяют создать реальную трехмерную форму с точностью лучше микрометра. Описаны подходы к созданию реальных трехмерных микроструктур методом глубокой рентгеновской литографии, позволяющие формировать из них относительно большие массивы.
Ключевые слова: рентгеновская литография, двойное облучение, контрастность.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 19-42-540014 р_а
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант 19-42-540014 р_а).
Поступила в редакцию: 17.05.2019
Исправленный вариант: 27.05.2019
Принята в печать: 03.06.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 9, Pages 906–908
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019090256
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. П. Назьмов, “Глубокая 3D-рентгенолитография на основе высококонтрастного рентгенорезиста”, Письма в ЖТФ, 45:18 (2019), 3–5; Tech. Phys. Lett., 45:9 (2019), 906–908
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Naz19}
\by В.~П.~Назьмов
\paper Глубокая 3D-рентгенолитография на основе высококонтрастного рентгенорезиста
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 18
\pages 3--5
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5313}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.18.48227.17879}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41175065}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 9
\pages 906--908
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019090256}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5313
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i18/p3
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:49
    PDF полного текста:21
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024