Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 20, страницы 36–38
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.20.48392.17949
(Mi pjtf5294)
 

Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта

В. В. Базаровa, В. А. Шустовa, Н. М. Лядовa, И. А. Файзрахмановa, И. В. Янилкинab, С. М. Хантимеровa, Р. Р. Гариповa, Р. Р. Фатыховa, Н. М. Сулеймановca, В. Ф. Валеевa

a Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН
b Казанский (Приволжский) федеральный университет
c Казанский государственный энергетический университет
Аннотация: Представлены результаты исследования наноструктурированной ионной имплантацией поверхности германия. В эксперименте монокристаллические пластины германия ($c$-Ge) облучались ионами Co$^{+}$ с энергией 40 keV в интервале доз (2 – 8) $\cdot$ 10$^{16}$ ion/cm$^{2}$. Методом сканирующей электронной микроскопии исследована эволюция морфологии поверхности германия с увеличением дозы имплантации. Установлено, что с ростом дозы имплантации на поверхности имплантированного германия постепенно формируется слой сферических образований диаметром $\sim$150 nm. Анализ спектров рентгеновск ой дифракции показал появление в имплантированном слое наноразмерных частиц германида кобальта (CoGe).
Ключевые слова: наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-48-160027 р_а
Министерство образования и науки Российской Федерации
Исследование частично поддержано грантом Российского фонда фундаментальных исследований и Правительства Республики Татарстан в рамках научного проекта № 18-48-160027 р_а. Рентгенографические исследования проведены за счет государственного задания ФИЦ КазНЦ РАН.
Поступила в редакцию: 26.06.2019
Исправленный вариант: 26.06.2019
Принята в печать: 03.07.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 10, Pages 1047–1049
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019100183
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. В. Базаров, В. А. Шустов, Н. М. Лядов, И. А. Файзрахманов, И. В. Янилкин, С. М. Хантимеров, Р. Р. Гарипов, Р. Р. Фатыхов, Н. М. Сулейманов, В. Ф. Валеев, “Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта”, Письма в ЖТФ, 45:20 (2019), 36–38; Tech. Phys. Lett., 45:10 (2019), 1047–1049
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BazShuLya19}
\by В.~В.~Базаров, В.~А.~Шустов, Н.~М.~Лядов, И.~А.~Файзрахманов, И.~В.~Янилкин, С.~М.~Хантимеров, Р.~Р.~Гарипов, Р.~Р.~Фатыхов, Н.~М.~Сулейманов, В.~Ф.~Валеев
\paper Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 20
\pages 36--38
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5294}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.20.48392.17949}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300907}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 10
\pages 1047--1049
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019100183}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5294
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i20/p36
  • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:42
    PDF полного текста:13
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024