|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта
В. В. Базаровa, В. А. Шустовa, Н. М. Лядовa, И. А. Файзрахмановa, И. В. Янилкинab, С. М. Хантимеровa, Р. Р. Гариповa, Р. Р. Фатыховa, Н. М. Сулеймановca, В. Ф. Валеевa a Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН
b Казанский (Приволжский) федеральный университет
c Казанский государственный энергетический университет
Аннотация:
Представлены результаты исследования наноструктурированной ионной имплантацией поверхности германия. В эксперименте монокристаллические пластины германия ($c$-Ge) облучались ионами Co$^{+}$ с энергией 40 keV в интервале доз (2 – 8)
$\cdot$ 10$^{16}$ ion/cm$^{2}$. Методом сканирующей электронной микроскопии исследована эволюция морфологии поверхности германия с увеличением дозы имплантации. Установлено, что с ростом дозы имплантации на поверхности имплантированного германия постепенно формируется слой сферических образований диаметром $\sim$150 nm. Анализ спектров рентгеновск ой дифракции показал появление в имплантированном слое наноразмерных частиц германида кобальта (CoGe).
Ключевые слова:
наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы.
Поступила в редакцию: 26.06.2019 Исправленный вариант: 26.06.2019 Принята в печать: 03.07.2019
Образец цитирования:
В. В. Базаров, В. А. Шустов, Н. М. Лядов, И. А. Файзрахманов, И. В. Янилкин, С. М. Хантимеров, Р. Р. Гарипов, Р. Р. Фатыхов, Н. М. Сулейманов, В. Ф. Валеев, “Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта”, Письма в ЖТФ, 45:20 (2019), 36–38; Tech. Phys. Lett., 45:10 (2019), 1047–1049
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5294 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i20/p36
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 42 | PDF полного текста: | 13 |
|