Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 21, страницы 3–6
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.21.48463.17791 (Mi pjtf5271) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Влияние уровня легирования исходных монокристаллов кремния на параметры структуры пористого кремния, полученного методом электрохимического травления

А. Г. Зегряa, В. В. Соколовa, Г. Г. Зегряa, Ю. В. Ганинb, Ю. М. Михайловb

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Институт проблем химической физики РАН, г. Черноголовка Московской обл.
PDF полного текста (102 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.21.48463.17791
Аннотация: Выявлено воздействие относительно небольших изменений концентрации свободных носителей заряда в сильнолегированном монокристаллическом кремнии $p$-типа проводимости на структурные параметры пористых слоев, образующихся в результате его анодного травления. Выраженное влияние дырочной концентрации на исследуемые параметры структуры пористого кремния объясняется исходя из представлений об электрохимическом порообразовании в кристаллах кремния как о самоорганизующемся кооперативном процессе, сопровождающемся инжекцией электронов из области химической реакции на фронте продвижения пор.
Ключевые слова: пористый кремний, электрохимическое травление, уровень легирования, пористость, удельная площадь поверхности.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 16-29-0108 офи_м
Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант \No~16-29-0108 офи_м).
Поступила в редакцию: 18.03.2019
Исправленный вариант: 02.07.2019
Принята в печать: 03.07.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 11, Pages 1067–1070
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019110154
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Г. Зегря, В. В. Соколов, Г. Г. Зегря, Ю. В. Ганин, Ю. М. Михайлов, “Влияние уровня легирования исходных монокристаллов кремния на параметры структуры пористого кремния, полученного методом электрохимического травления”, Письма в ЖТФ, 45:21 (2019), 3–6; Tech. Phys. Lett., 45:11 (2019), 1067–1070
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZegSokZeg19}
\by А.~Г.~Зегря, В.~В.~Соколов, Г.~Г.~Зегря, Ю.~В.~Ганин, Ю.~М.~Михайлов
\paper Влияние уровня легирования исходных монокристаллов кремния на параметры структуры пористого кремния, полученного методом электрохимического травления
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 21
\pages 3--6
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5271}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.21.48463.17791}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41848450}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 11
\pages 1067--1070
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019110154}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5271
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i21/p3
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:46
    PDF полного текста:37
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024