|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Разработка методов жидкостного травления разделительной меза-структуры при создании каскадных солнечных элементов
А. В. Малевская, Н. Д. Ильинская, В. М. Андреев Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Выполнены исследования постростовой технологии изготовления каскадных солнечных элементов на основе гетероструктуры GaInP/GaInAs/Ge. Исследованы методы жидкостного химического и электрохимического травления слоев гетероструктуры. Разработана технология создания разделительной меза-структуры, достигнуто улучшение качества поверхности и профиля боковой стенки мезы для гетероструктур с разным составом слоев.
Ключевые слова:
каскадный солнечный элемент, гетероструктура, травление, меза-структура.
Поступила в редакцию: 28.06.2019 Исправленный вариант: 19.07.2019 Принята в печать: 16.09.2019
Образец цитирования:
А. В. Малевская, Н. Д. Ильинская, В. М. Андреев, “Разработка методов жидкостного травления разделительной меза-структуры при создании каскадных солнечных элементов”, Письма в ЖТФ, 45:24 (2019), 14–16; Tech. Phys. Lett., 45:12 (2019), 1230–1232
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5234 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i24/p14
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 60 | PDF полного текста: | 29 |
|