|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Эффект прозрачности в пленках Zr–B–N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB$_{2}$
Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, Е. А. Левашов Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва
Аннотация:
Проведены исследования тонких покрытий в системе Zr–B–N, обладающих оптической прозрачностью. Показано, что повышение объемной доли азота в газовой смеси и, как следствие, концентрации азота в покрытиях приводит к увеличению оптического коэффициента пропускания вследствие образования фазы BN.
Ключевые слова:
покрытия ZrBN, катод ZrB$_{2}$, магнетронное напыление, химический состав, оптические свойства, коэффициент пропускания, фаза BN.
Поступила в редакцию: 02.10.2019 Исправленный вариант: 02.10.2019 Принята в печать: 15.11.2019
Образец цитирования:
Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, Е. А. Левашов, “Эффект прозрачности в пленках Zr–B–N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB$_{2}$”, Письма в ЖТФ, 46:4 (2020), 30–32; Tech. Phys. Lett., 46:2 (2020), 179–181
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5184 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i4/p30
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 49 | PDF полного текста: | 18 |
|