Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2020, том 46, выпуск 4, страницы 30–32
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.04.49047.18057
(Mi pjtf5184)
 

Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Эффект прозрачности в пленках Zr–B–N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB$_{2}$

Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, Е. А. Левашов

Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва
Аннотация: Проведены исследования тонких покрытий в системе Zr–B–N, обладающих оптической прозрачностью. Показано, что повышение объемной доли азота в газовой смеси и, как следствие, концентрации азота в покрытиях приводит к увеличению оптического коэффициента пропускания вследствие образования фазы BN.
Ключевые слова: покрытия ZrBN, катод ZrB$_{2}$, магнетронное напыление, химический состав, оптические свойства, коэффициент пропускания, фаза BN.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 19-08-00187
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект № 19-08-00187).
Поступила в редакцию: 02.10.2019
Исправленный вариант: 02.10.2019
Принята в печать: 15.11.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2020, Volume 46, Issue 2, Pages 179–181
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785020020224
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, Е. А. Левашов, “Эффект прозрачности в пленках Zr–B–N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB$_{2}$”, Письма в ЖТФ, 46:4 (2020), 30–32; Tech. Phys. Lett., 46:2 (2020), 179–181
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KirLev20}
\by Ф.~В.~Кирюханцев-Корнеев, Е.~А.~Левашов
\paper Эффект прозрачности в пленках Zr--B--N, полученных с помощью магнетронного распыления мишени ZrB$_{2}$
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2020
\vol 46
\issue 4
\pages 30--32
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5184}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.04.49047.18057}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42776918}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2020
\vol 46
\issue 2
\pages 179--181
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785020020224}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5184
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i4/p30
  • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:41
    PDF полного текста:15
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024