Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2020, том 46, выпуск 6, страницы 27–30
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.06.49161.18153 (Mi pjtf5156) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Структурное совершенство и состав легированных галлием термомиграционных слоев кремния

А. А. Ломовa, Б. М. Серединb, C. Ю. Мартюшовc, А. Н. Заиченкоb, С. Г. Симакинd, И. Л. Шульпинаe

a Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, г. Москва
b Южно-Российский государственный политехнический институт (НПИ) им. М.И. Платова, Новочеркасск, Россия
c Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, г. Троицк, Москва
d Ярославский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН
e Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (444 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.06.49161.18153
Аннотация: Предложена методика формирования толстых сильно легированных галлием термомиграционных слоев кремния для перспективных приборов силовой электроники. Совершенство структуры и состав слоев в зависимости от температуры их формирования исследованы методами рентгеновской топографии, кривых дифракционного отражения и вторично-ионной масс-спектрометрии. Установлено, что формируемые слои являются монокристаллическими и не содержат на границе с кремниевой подложкой дислокаций несоответствия. Показано, что величину концентрации галлия в слоях можно менять в диапазоне (1.6–4.8)$\cdot$10$^{19}$ cm$^{-3}$, что выше, чем при легировании кремния алюминием.
Ключевые слова: термомиграция, кремний, галлий, дислокации, рентген, дифракция, вторичная ионная масс-спектрометрия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0066-2019-0004
9-16 0040-2019-0016
Российский фонд фундаментальных исследований 19-07-00306
Работа выполнена в рамках государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН по теме № 0066-2019-0004 и ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН по теме № 9-16 0040-2019-0016, а также частично поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант № 19-07-00306).
Поступила в редакцию: 13.12.2019
Исправленный вариант: 13.12.2019
Принята в печать: 17.12.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2020, Volume 46, Issue 3, Pages 279–282
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785020030268
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. А. Ломов, Б. М. Середин, C. Ю. Мартюшов, А. Н. Заиченко, С. Г. Симакин, И. Л. Шульпина, “Структурное совершенство и состав легированных галлием термомиграционных слоев кремния”, Письма в ЖТФ, 46:6 (2020), 27–30; Tech. Phys. Lett., 46:3 (2020), 279–282
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LomSerMar20}
\by А.~А.~Ломов, Б.~М.~Середин, C.~Ю.~Мартюшов, А.~Н.~Заиченко, С.~Г.~Симакин, И.~Л.~Шульпина
\paper Структурное совершенство и состав легированных галлием термомиграционных слоев кремния
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2020
\vol 46
\issue 6
\pages 27--30
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5156}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.06.49161.18153}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42776951}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2020
\vol 46
\issue 3
\pages 279--282
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785020030268}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5156
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i6/p27
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:59
    PDF полного текста:42
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024