Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2020, том 46, выпуск 8, страницы 21–24
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.08.49303.18210 (Mi pjtf5128) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Термомиграция расплавленных зон по поверхности кремния в условиях теплового удара

А. А. Скворцов, М. В. Корячко, М. Р. Рыбакова

Московский политехнический университет
PDF полного текста (316 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.08.49303.18210
Аннотация: Рассматриваются вопросы формирования и миграции расплавленных зон в процессе электрического взрыва тонких пленок алюминия на окисленной поверхности кремния. Обнаружено различие в механизмах формирования и миграции оплавленных зон на поверхности в процессе прохождения токового импульса и после его отключения. Выявлено, что после отключения импульса тока миграция расплавленных зон определяется градиентом температуры вблизи локального теплового источника. По размерной зависимости скорости перемещения получены значения температурных градиентов и проведена оценка коэффициента термоупругости, определяющего динамику миграции зон в поле градиента температур.
Ключевые слова: электрический взрыв, тонкие пленки, градиент температур, полупроводниковая структура.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 19-79-00372
Работа выполнена за счет гранта Российского научного фонда (проект № 19-79-00372).
Поступила в редакцию: 21.01.2020
Исправленный вариант: 21.01.2020
Принята в печать: 24.01.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2020, Volume 46, Issue 4, Pages 374–377
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785020040276
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. А. Скворцов, М. В. Корячко, М. Р. Рыбакова, “Термомиграция расплавленных зон по поверхности кремния в условиях теплового удара”, Письма в ЖТФ, 46:8 (2020), 21–24; Tech. Phys. Lett., 46:4 (2020), 374–377
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SkvKorRyb20}
\by А.~А.~Скворцов, М.~В.~Корячко, М.~Р.~Рыбакова
\paper Термомиграция расплавленных зон по поверхности кремния в условиях теплового удара
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2020
\vol 46
\issue 8
\pages 21--24
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5128}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.08.49303.18210}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=43800660}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2020
\vol 46
\issue 4
\pages 374--377
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785020040276}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5128
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i8/p21
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024