|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Влияние температуры мишени на образование нанорельефа при облучении газовыми кластерными ионами
Д. С. Киреевa, А. Е. Иешкинa, А. А. Шемухинb a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
Аннотация:
Проведено исследование нанорельефа, формирующегося на поверхности меди под действием наклонного пучка кластерных ионов при различных дозах обучения и температурах мишени. Образующийся нанорельеф с увеличением дозы развивается в упорядоченную волнообразную структуру. Обнаружено, что при увеличении температуры мишени происходит сглаживание исходной шероховатости. Указаны механизмы, ответственные за формирование топографии поверхности, и сделаны оценки их эффективности.
Ключевые слова:
кластерные ионы, распыление, нанорельеф, самоорганизация, атомно-силовая микроскопия.
Поступила в редакцию: 28.08.2019 Исправленный вариант: 31.01.2020 Принята в печать: 06.02.2020
Образец цитирования:
Д. С. Киреев, А. Е. Иешкин, А. А. Шемухин, “Влияние температуры мишени на образование нанорельефа при облучении газовыми кластерными ионами”, Письма в ЖТФ, 46:9 (2020), 3–6; Tech. Phys. Lett., 46:5 (2020), 409–412
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5109 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i9/p3
|
|