|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова
А. В. Цымбалов, В. М. Калыгина, Н. К. Максимова, Е. В. Черников Национальный исследовательский Томский государственный университет
Аннотация:
Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO$_{2}$:Sb на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование длительности цикла нагрева и снижение температуры в цикле охлаждения позволяют повысить величину отклика на один-два порядка. Полученные результаты объясняются изменением плотности химически адсорбированного кислорода на поверхности пленки SnO$_{2}$:Sb в зависимости от температурного режима.
Ключевые слова:
диоксид олова, аммиак, тонкие пленки, магнетронное распыление, режим термоциклирования.
Поступила в редакцию: 04.12.2019 Исправленный вариант: 22.02.2019 Принята в печать: 25.02.2019
Образец цитирования:
А. В. Цымбалов, В. М. Калыгина, Н. К. Максимова, Е. В. Черников, “Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова”, Письма в ЖТФ, 46:10 (2020), 21–24; Tech. Phys. Lett., 46:5 (2020), 480–483
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5100 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i10/p21
|
|