Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2020, том 46, выпуск 11, страницы 43–46
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.11.49499.18201 (Mi pjtf5092) 		 
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Фемтосекундный лазерный отжиг многослойных тонкопленочных структур на основе аморфных германия и кремния

А. В. Колчинa, Д. В. Шулейкоa, А. В. Павликовab, С. В. Заботновab, Л. А. Голованьa, Д. Е. Пресновacd, В. А. Володинef, Г. К. Кривякинef, А. А. Поповg, П. К. Кашкаровab

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
b Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
c Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
d Центр квантовых технологий МГУ им. М. В. Ломоносова
e Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
f Новосибирский государственный университет
g Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
PDF полного текста (725 kB) Список цитирования (8)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.11.49499.18201
Аннотация: Исследованы процессы фемтосекундного лазерного отжига тонкопленочных многослойных структур на основе аморфных кремния и германия, изготовленных методом плазмохимического осаждения на стеклянную подложку. Методом растровой электронной микроскопии обнаружено формирование периодических структур на поверхности облученных пленок. Анализ спектров комбинационного рассеяния света показал, что в результате воздействия фемтосекундными лазерными импульсами происходит кристаллизация аморфного германия, а также зависящее от плотности энергии импульсов смешивание германиевых и кремниевых слоев при отсутствии кристаллизации слоев аморфного кремния.
Ключевые слова: импульсный лазерный отжиг, тонкопленочные кремниевые и германиевые структуры, растровая электронная микроскопия, комбинационное рассеяние света.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0066-2019-0003
Работа выполнена при поддержке программы фундаментальных исследований ЯФ ФТИ РАН № 0066-2019-0003.
Поступила в редакцию: 09.01.2020
Исправленный вариант: 16.03.2020
Принята в печать: 16.03.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2020, Volume 46, Issue 6, Pages 560–563
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785020060048
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. В. Колчин, Д. В. Шулейко, А. В. Павликов, С. В. Заботнов, Л. А. Головань, Д. Е. Преснов, В. А. Володин, Г. К. Кривякин, А. А. Попов, П. К. Кашкаров, “Фемтосекундный лазерный отжиг многослойных тонкопленочных структур на основе аморфных германия и кремния”, Письма в ЖТФ, 46:11 (2020), 43–46; Tech. Phys. Lett., 46:6 (2020), 560–563
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KolShuPav20}
\by А.~В.~Колчин, Д.~В.~Шулейко, А.~В.~Павликов, С.~В.~Заботнов, Л.~А.~Головань, Д.~Е.~Преснов, В.~А.~Володин, Г.~К.~Кривякин, А.~А.~Попов, П.~К.~Кашкаров
\paper Фемтосекундный лазерный отжиг многослойных тонкопленочных структур на основе аморфных германия и кремния
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2020
\vol 46
\issue 11
\pages 43--46
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5092}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.11.49499.18201}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=43800720}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2020
\vol 46
\issue 6
\pages 560--563
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785020060048}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5092
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i11/p43
    • Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024