Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2020, том 46, выпуск 11, страницы 34–38
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.11.49497.18261 (Mi pjtf5090) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Использование импульсного лазерного отжига для формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу

М. Н. Дроздовa, Е. А. Архиповаa, Ю. Н. Дроздовa, С. А. Краевa, В. И. Шашкинa, А. Е. Парафинa, М. А. Лобаевb, А. Л. Вихаревb, А. М. Горбачевb, Д. Б. Радищевb, В. А. Исаевb, С. А. Богдановb

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (308 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.11.49497.18261
Аннотация: Исследуется влияние импульсного лазерного отжига на процесс формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу. С использованием метода вторично-ионной масс-спектрометрии показано, что лазерный отжиг контактов приводит к эффективной диффузии атомов углерода в слой титана и формированию карбида титана в переходной области с алмазом толщиной 15–20 nm. Быстрый термический отжиг такой же контактной системы сопровождается резким возрастанием содержания кислорода в слое титана и переходном слое с алмазом и возникновением окисла титана. При этом фаза карбида титана в переходном слое Ti-C не формируется. Показано также, что в использованном режиме лазерного отжига не происходит графитизации приконтактного слоя алмаза, что могло бы кардинально снизить механическую прочность и адгезию контактов.
Ключевые слова: алмаз, омические контакты, отжиг, карбиды, окислы, графитизация.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-02-00565
Российский научный фонд 17-19-01580
Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (проект № 18-02-00565) в части развития методики ВИМС-анализа углеродсодержащих материалов и Российским научным фондом (№ 17-19-01580) в части изготовления легированных эпитаксиальных пленок алмаза и отработки технологических методов формирования омических контактов для задач алмазной электроники.
Поступила в редакцию: 25.02.2020
Исправленный вариант: 10.03.2020
Принята в печать: 12.03.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2020, Volume 46, Issue 6, Pages 551–555
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785020060024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. Н. Дроздов, Е. А. Архипова, Ю. Н. Дроздов, С. А. Краев, В. И. Шашкин, А. Е. Парафин, М. А. Лобаев, А. Л. Вихарев, А. М. Горбачев, Д. Б. Радищев, В. А. Исаев, С. А. Богданов, “Использование импульсного лазерного отжига для формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу”, Письма в ЖТФ, 46:11 (2020), 34–38; Tech. Phys. Lett., 46:6 (2020), 551–555
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DroArkDro20}
\by М.~Н.~Дроздов, Е.~А.~Архипова, Ю.~Н.~Дроздов, С.~А.~Краев, В.~И.~Шашкин, А.~Е.~Парафин, М.~А.~Лобаев, А.~Л.~Вихарев, А.~М.~Горбачев, Д.~Б.~Радищев, В.~А.~Исаев, С.~А.~Богданов
\paper Использование импульсного лазерного отжига для формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2020
\vol 46
\issue 11
\pages 34--38
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5090}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2020.11.49497.18261}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=43800718}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2020
\vol 46
\issue 6
\pages 551--555
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785020060024}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5090
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i11/p34
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024