|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Сравнительный эллипсометрический анализ политипов карбида кремния 4$H$, 15$R$, 6$H$, полученных модифицированным методом Лели в одном ростовом процессе
Д. Д. Авровa, А. Н. Горлякa, А. О. Лебедевab, В. В. Лучининa, А. В. Марковa, А. В. Осиповc, М. Ф. Пановa, С. А. Кукушкинd a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Предложена модель количественного анализа зависимости диэлектрической проницаемости гексагональных политипов карбида кремния от энергии фотонов в диапазоне 0.7–6.5 eV. Модель, представляющая собой сумму двух осцилляторов Таук–Лорентца (основного и неосновного) с общей шириной запрещенной зоны, применяется для описания трех гексагональных политипов карбида кремния (4$H$, 15$R$, 6$H$), полученных в одном ростовом процессе. Анализируются как C-грани, так и Si-грани каждого политипа. Сделан ряд выводов о зависимости параметров осцилляторов от степени гексагональности политипа и типа грани поверхности. Самая сильная зависимость – увеличение амплитуды неосновного осциллятора с увеличением степени гексагональности политипа. Следует отметить также увеличение ширины запрещенной зоны при переходе от C-грани (000$\bar1$) к Si-грани (0001).
Ключевые слова:
карбид кремния, политипы, диэлектрическая проницаемость, эллипсометрия.
Поступила в редакцию: 15.05.2020 Исправленный вариант: 02.07.2020 Принята в печать: 02.07.2020
Образец цитирования:
Д. Д. Авров, А. Н. Горляк, А. О. Лебедев, В. В. Лучинин, А. В. Марков, А. В. Осипов, М. Ф. Панов, С. А. Кукушкин, “Сравнительный эллипсометрический анализ политипов карбида кремния 4$H$, 15$R$, 6$H$, полученных модифицированным методом Лели в одном ростовом процессе”, Письма в ЖТФ, 46:19 (2020), 28–31; Tech. Phys. Lett., 46:10 (2020), 968–971
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4977 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i19/p28
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 87 | PDF полного текста: | 55 |
|