Синтез и газовая чувствительность тонких пленок оксида хрома

Методом высокочастотного магнетронного распыления с последующим отжигом при $T$ = 673 K в атмосфере воздуха синтезированы тонкие поликристаллические пленки Cr$_{2}$O$_{3}$. Диаметр зерен в тонкой пленке Cr$_{2}$O$_{3}$ составляет 40–70 nm, ширина запрещенной зоны $\sim$3.3 $\pm$ 0.2 eV. Пленки Cr$_{2}$O$_{3}$ в области температур 303–473 K демонстрируют высокие отклики на NO$_{2}$, Н$_{2}$, пары ацетона и толуола, слабо реагируют на воздействие CH$_{4}$ и СО и характеризуются относительно слабой зависимостью сопротивления от влажности. Предложена качественная модель влияния газов на электрические свойства тонких пленок Cr$_{2}$O$_{3}$.