|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Синтез и газовая чувствительность тонких пленок оксида хрома
А. В. Алмаев, Б. О. Кушнарев, Е. В. Черников, В. А. Новиков Национальный исследовательский Томский государственный университет
Аннотация:
Методом высокочастотного магнетронного распыления с последующим отжигом при $T$ = 673 K в атмосфере воздуха синтезированы тонкие поликристаллические пленки Cr$_{2}$O$_{3}$. Диаметр зерен в тонкой пленке Cr$_{2}$O$_{3}$ составляет 40–70 nm, ширина запрещенной зоны $\sim$3.3 $\pm$ 0.2 eV. Пленки Cr$_{2}$O$_{3}$ в области температур 303–473 K демонстрируют высокие отклики на NO$_{2}$, Н$_{2}$, пары ацетона и толуола, слабо реагируют на воздействие CH$_{4}$ и СО и характеризуются относительно слабой зависимостью сопротивления от влажности. Предложена качественная модель влияния газов на электрические свойства тонких пленок Cr$_{2}$O$_{3}$.
Ключевые слова:
оксид хрома, тонкие пленки, магнетронное распыление, газовые сенсоры.
Поступила в редакцию: 16.04.2020 Исправленный вариант: 06.07.2020 Принята в печать: 20.07.2020
Образец цитирования:
А. В. Алмаев, Б. О. Кушнарев, Е. В. Черников, В. А. Новиков, “Синтез и газовая чувствительность тонких пленок оксида хрома”, Письма в ЖТФ, 46:20 (2020), 35–37; Tech. Phys. Lett., 46:10 (2020), 1028–1031
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4965 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v46/i20/p35
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 49 | PDF полного текста: | 18 |
|