Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 2, страницы 52–54
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.02.50548.18578 (Mi pjtf4889) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии

В. О. Кузьменко, А. В. Мяконьких

Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, г. Москва
PDF полного текста (169 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.02.50548.18578
Аннотация: Проведены измерения параметров индуктивно-связанной плазмы пониженного давления газа CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и актинометрии. Определены электронная температура и концентрации электронов и положительных ионов, а также радикалов фтора и брома. Предложено объяснение наблюдавшейся ранее значительной деградации диэлектриков со сверхнизкой проницаемостью при травлении в исследуемой плазме.
Ключевые слова: низкотемпературная неравновесная плазма, оптическая эмиссионная спектроскопия, зонд Ленгмюра, бромсодержащая плазма, индуктивно-связанная плазма.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0066-2019-0004
Российский фонд фундаментальных исследований 18-29-27025
Работа выполнена в рамках государственного задания Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН по теме №0066-2019-0004 и частично поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант № 18-29-27025).
Поступила в редакцию: 12.10.2020
Исправленный вариант: 14.10.2020
Принята в печать: 14.10.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 1, Pages 99–102
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785021010247
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. О. Кузьменко, А. В. Мяконьких, “Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии”, Письма в ЖТФ, 47:2 (2021), 52–54; Tech. Phys. Lett., 47:1 (2021), 99–102
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KuzMya21}
\by В.~О.~Кузьменко, А.~В.~Мяконьких
\paper Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 2
\pages 52--54
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4889}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.02.50548.18578}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44860850}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 1
\pages 99--102
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785021010247}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4889
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i2/p52
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:81
    PDF полного текста:55
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024