|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Формирование селективного контакта BP/Si с помощью низкотемпературного плазмохимического осаждения
А. С. Гудовскихab, Д. А. Кудряшовa, А. И. Барановa, А. В. Уваровa, И. А. Морозовa a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова
Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
Аннотация:
Впервые показана возможность формирования слоев фосфида бора методом плазмохимического атомно-слоевого осаждения при температуре 250$^\circ$C, а также экспериментально продемонстрирована возможность их использования в качестве дырочного селективного контакта к кремнию для создания солнечных элементов.
Ключевые слова:
фосфид бора, кремний, селективный контакт, солнечный элемент.
Поступила в редакцию: 23.09.2020 Исправленный вариант: 13.10.2020 Принята в печать: 13.10.2020
Образец цитирования:
А. С. Гудовских, Д. А. Кудряшов, А. И. Баранов, А. В. Уваров, И. А. Морозов, “Формирование селективного контакта BP/Si с помощью низкотемпературного плазмохимического осаждения”, Письма в ЖТФ, 47:2 (2021), 49–51; Tech. Phys. Lett., 47:1 (2021), 96–98
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4888 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i2/p49
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 44 | PDF полного текста: | 11 |
|