|
AlSb/InAs-гетероструктуры для СВЧ-транзисторов
М. А. Сухановa, А. К. Бакаровab, К. С. Журавлёвab a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
Аннотация:
Описаны особенности процесса выращивания методом молекулярно-лучевой эпитаксии AlSb/InAs-гетероструктур с высокоподвижным двумерным электронным газом для СВЧ-транзисторов со сверхмалым энергопотреблением. Изложены основные этапы изготовления транзисторов на основе AlSb/InAs-гетероструктур. Представлены и обсуждены стоковые и сток-затворные характеристики транзисторов.
Ключевые слова:
AlSb/InAs-гетероструктуры, молекулярно-лучевая эпитаксия, HEMT-транзистор.
Поступила в редакцию: 16.10.2020 Исправленный вариант: 25.10.2020 Принята в печать: 25.10.2020
Образец цитирования:
М. А. Суханов, А. К. Бакаров, К. С. Журавлёв, “AlSb/InAs-гетероструктуры для СВЧ-транзисторов”, Письма в ЖТФ, 47:3 (2021), 37–39; Tech. Phys. Lett., 47:2 (2021), 139–142
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4872 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i3/p37
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 50 | PDF полного текста: | 33 |
|