|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Осаждение фторполимерных покрытий на вращающиеся цилиндрические поверхности методом химического осаждения из газовой фазы, активированной горячей нитью
А. И. Сафоновa, С. В. Старинскийa, В. С. Суляеваb a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук
b Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Метод химического осаждения из газовой фазы, активированной горячей нитью (hot wire chemical vapor deposition), адаптирован для осаждения фторполимерных покрытий на вращающиеся цилиндрические поверхности малого радиуса (менее 20 mm). Исследовано влияние частоты вращения поверхности на строение осаждающегося на ней тонкого фторполимерного покрытия. Обнаружено существенное изменение морфологии формируемого фторполимерного покрытия в зависимости от частоты вращения цилиндрической поверхности. Определен дополнительный параметр (частота вращения цилиндрической поверхности), варьирование которого позволяет изменять строение формируемого фторполимерного покрытия в процессе осаждения.
Ключевые слова:
фторполимер, осаждение, вращающиеся поверхности, HW CVD.
Поступила в редакцию: 29.07.2020 Исправленный вариант: 08.09.2020 Принята в печать: 13.11.2020
Образец цитирования:
А. И. Сафонов, С. В. Старинский, В. С. Суляева, “Осаждение фторполимерных покрытий на вращающиеся цилиндрические поверхности методом химического осаждения из газовой фазы, активированной горячей нитью”, Письма в ЖТФ, 47:4 (2021), 49–51; Tech. Phys. Lett., 47:2 (2021), 205–207
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4861 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i4/p49
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 63 | PDF полного текста: | 20 |
|