|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона
И. В. Николаевa, Н. Г. Коробейщиковa, М. А. Роенкоa, П. В. Гейдтa, В. И. Струнинb a Новосибирский национальный исследовательский государственный университет
b Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского
Аннотация:
Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот ($\nu$ = 0.02–128 $\mu$m$^{-1}$) при ультрамалой глубине травления ($<$ 100 nm).
Ключевые слова:
ионно-кластерный пучок, тонкие пленки, нитрид алюминия, сглаживание поверхности.
Поступила в редакцию: 01.09.2020 Исправленный вариант: 28.09.2020 Принята в печать: 11.12.2020
Образец цитирования:
И. В. Николаев, Н. Г. Коробейщиков, М. А. Роенко, П. В. Гейдт, В. И. Струнин, “Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона”, Письма в ЖТФ, 47:6 (2021), 44–47; Tech. Phys. Lett., 47:4 (2021), 301–304
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4832 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i6/p44
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 66 | PDF полного текста: | 25 |
|