Фазовый переход $\alpha$–$\beta$ в примесной фазе монокристалла кремния SiO$_{2}$

С помощью высокотемпературной рентгеновской дифрактометрии непосредственно в пучке изучено термическое окисление монокристалла кремния в интервале температур 293–1293 K. Обнаружена аномалия в интенсивности и угловом положении диффузного рассеяния от поверхности монокристалла. Аномалия объясняется окислением поверхности кремния по модели Дила–Гроува и процессом сублимации окисного слоя в зависимости от температуры. Установлено, что в объеме (кремниевой среде) монокристалла в этом интервале температур имеет место фазовый переход $\alpha$–$\beta$ в кристаллической примесной фазе диоксида кремния, аналогичный $\alpha$–$\beta$-переходу кварца в атмосфере.