Формирование сверхтвердых покрытий в процессе обработки низкотемпературной плазмой азота в открытой атмосфере пленок титана

Приводятся результаты исследования процессов формирования сверхтвердых покрытий путем обработки потоком низкотемпературной плазмы азота в открытой атмосфере пленок титана на подложках сапфира. Показано, что в процессе плазменной обработки формируется покрытие азотсодержащего TiO$_{2}$ со структурой рутила с двукратным увеличением (в сравнении с рутилом TiO$_{2}$) микротвердости (до 27 GPa). Нанесение данного покрытия приводит к упрочнению поверхности сапфировых пластин на 22–23%. Высокая производительность и осуществление синтеза в открытой атмосфере позволяют рассматривать предложенную методику как перспективную для получения сверхтвердых покрытий с высокой резистентностью к кислороду.