Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 10, страницы 35–37
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.10.50971.18646 (Mi pjtf4788) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Получение TiN-покрытий реактивным анодным испарением титана в разряде с самонакаливаемым полым катодом

А. И. Меньшаковab, Д. Р. Емлинa

a Институт электрофизики УрО РАН, г. Екатеринбург
b Уральский федеральный университет им. Б. Н. Ельцина, г. Екатеринбург
PDF полного текста (334 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.10.50971.18646
Аннотация: Предложен способ получения TiN-покрытий путем анодного испарения титана в газовом сильноточном разряде (30 А) с самонакаливаемым полым катодом в среде Ar+N$_{2}$. Оптический спектральный анализ показывает, что в составе газоразрядной плазмы присутствует большое количество активированного титана, а доля ионов металла, поступающих из плазмы на подложку с учетом однозарядности ионов, достигает 70%. При потоке азота 5 cm$^{3}$/min получены TiN-покрытия толщиной 2 $\mu$m с твердостью до 24 GPa. Скорость осаждения на расстоянии 7 cm от источника паров составила $\sim$4 $\mu$m/h.
Ключевые слова: нитрид титана, анодное испарение, самонакаливаемый полый катод, PVD.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 20-79-10059
Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 20-79-10059).
Поступила в редакцию: 07.12.2020
Исправленный вариант: 07.12.2020
Принята в печать: 22.02.2021
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 7, Pages 511–514
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785021050254
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. И. Меньшаков, Д. Р. Емлин, “Получение TiN-покрытий реактивным анодным испарением титана в разряде с самонакаливаемым полым катодом”, Письма в ЖТФ, 47:10 (2021), 35–37; Tech. Phys. Lett., 47:7 (2021), 511–514
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MenEml21}
\by А.~И.~Меньшаков, Д.~Р.~Емлин
\paper Получение TiN-покрытий реактивным анодным испарением титана в разряде с самонакаливаемым полым катодом
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 10
\pages 35--37
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4788}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.10.50971.18646}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46321626}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 7
\pages 511--514
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785021050254}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4788
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i10/p35
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:48
    PDF полного текста:18
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024