Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 11, страницы 44–47
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.11.51008.18717 (Mi pjtf4777) 		 
Влияние металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек

С. Д. Полетаевab, А. И. Любимовc

a Институт систем обработки изображений РАН - филиал ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Самара, Россия, г. Самара
b Самарский национальный исследовательский университет имени академика С. П. Королева
c ФГУП «НПО "Государственный институт прикладной оптики"», г. Казань
PDF полного текста (96 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.11.51008.18717
Аннотация: Теоретически и экспериментально исследовано влияние металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при селективном реактивно-ионном травлении через маску массивных подложек во фреоне-14. Показано, что для масок с покрытием подложек выше 30% происходит рост реактивной составляющей мощности на расстояниях от центра, близких к радиусу подложки. Установлено отсутствие зависимости удельной реактивной мощности от толщины и типа металла масок. Экспериментально показано, что маски с любым практически значимым коэффициентом покрытия подложки, соединенные с нижним электродом через подложкодержатель, улучшают согласование, снижая коэффициент отражения по мощности.
Ключевые слова: дифракционный микрорельеф, реактивно-ионное травление, импеданс, подложкодержатель, нижний электрод.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 007-ГЗ/43363/26
08/2017
Работа выполнена в рамках госзадания “Кристаллография и фотоника” РАН (соглашение № 007-ГЗ/43363/26) и договора о НИР № 08/2017 (заказчик НПО “Государственный институт прикладной оптики”).
Поступила в редакцию: 25.01.2021
Исправленный вариант: 12.03.2021
Принята в печать: 12.03.2021
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 8, Pages 569–572
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785021060122
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. Д. Полетаев, А. И. Любимов, “Влияние металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек”, Письма в ЖТФ, 47:11 (2021), 44–47; Tech. Phys. Lett., 47:8 (2021), 569–572
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolLyu21}
\by С.~Д.~Полетаев, А.~И.~Любимов
\paper Влияние металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 11
\pages 44--47
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4777}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.11.51008.18717}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46321612}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 8
\pages 569--572
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785021060122}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4777
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i11/p44
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:48
    PDF полного текста:10
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024