Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 12, страницы 31–33
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.12.51064.18748 (Mi pjtf4760) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Наноструктурирование при наклонном напылении алюминия

О. С. Трушинa, А. А. Поповa, А. Н. Пестоваa, Л. А. Мазалецкийa, А. А. Акуловb

a Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
b Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
PDF полного текста (557 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.12.51064.18748
Аннотация: Экспериментально обнаружено формирование регулярных массивов наноколонн с высоким аспектным отношением (длина/поперечный размер) в процессе роста тонких пленок Al при наклонном напылении на кремниевую подложку методом электронно-лучевого испарения. Установлено, что оптимальные условия для наноструктурирования реализуются при углах падения испаряемого материала на подложку более 80$^\circ$ (скользящее напыление).
Ключевые слова: пленки алюминия, электронно-лучевое испарение, напыление под углом, эффект затенения, наноструктурирование.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0066-2019-0003
Работа выполнена на оборудовании Центра коллективного пользования научным оборудованием “Диагностика микро- и наноструктур” в рамках государственного задания ФТИАН им. К.А. Валиева РАН Минобрнауки РФ по теме № 0066-2019-0003 “Фундаментальные и прикладные исследования в области создания перспективных приборных наноструктур для хранения информации на новых физических принципах”.
Поступила в редакцию: 01.03.2021
Исправленный вариант: 22.03.2021
Принята в печать: 23.03.2021
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 8, Pages 617–619
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785021060250
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: О. С. Трушин, А. А. Попов, А. Н. Пестова, Л. А. Мазалецкий, А. А. Акулов, “Наноструктурирование при наклонном напылении алюминия”, Письма в ЖТФ, 47:12 (2021), 31–33; Tech. Phys. Lett., 47:8 (2021), 617–619
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{TruPopPes21}
\by О.~С.~Трушин, А.~А.~Попов, А.~Н.~Пестова, Л.~А.~Мазалецкий, А.~А.~Акулов
\paper Наноструктурирование при наклонном напылении алюминия
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 12
\pages 31--33
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4760}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.12.51064.18748}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46321834}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 8
\pages 617--619
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785021060250}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4760
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i12/p31
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:51
    PDF полного текста:14
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024