Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 14, страницы 47–50
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51188.18773 (Mi pjtf4738) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Ионный синтез структур кремний на изоляторе" со свинцово-силикатным изолирующим слоем

Э. Ю. Бучин, Ю. И. Денисенко

Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
PDF полного текста (133 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51188.18773
Аннотация: Исследован процесс ионного синтеза структур “кремний на изоляторе”, основанный на последовательной имплантации ионов кислорода и стеклообразователя в кремниевые подложки. В качестве стеклообразователя использованы ионы свинца. Рассмотрены особенности формирования скрытого силикатного слоя при постимплантационном отжиге. Измерены вольт-амперные характеристики синтезированных структур, а также удельные электрические сопротивления изолятора и приборного слоя кремния.
Ключевые слова: ионная имплантация, стеклообразователь, высокотемпературный отжиг, силикатный изолятор, вольт-амперная характеристика.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0066-2020-0003
Работа выполнена в рамках государственного задания Минобрнауки РФ Физико-технологическому институту им. К.А. Валиева РАН по теме № 0066-2020-0003.
Поступила в редакцию: 19.03.2021
Исправленный вариант: 13.04.2021
Принята в печать: 27.04.2021
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 9, Pages 696–699
DOI: https://doi.org/10.1134/S106378502107018X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Э. Ю. Бучин, Ю. И. Денисенко, “Ионный синтез структур кремний на изоляторе" со свинцово-силикатным изолирующим слоем”, Письма в ЖТФ, 47:14 (2021), 47–50; Tech. Phys. Lett., 47:9 (2021), 696–699
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BucDen21}
\by Э.~Ю.~Бучин, Ю.~И.~Денисенко
\paper Ионный синтез структур кремний на изоляторе'' со свинцово-силикатным изолирующим слоем
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 14
\pages 47--50
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4738}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51188.18773}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46333473}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 9
\pages 696--699
\crossref{https://doi.org/10.1134/S106378502107018X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4738
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i14/p47
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:52
    PDF полного текста:18
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025