Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 14, страницы 43–46
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51187.18811 (Mi pjtf4737) 		 
Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии

В. Г. Дубровский

Санкт-Петербургский государственный университет
PDF полного текста (705 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51187.18811
Аннотация: Предложена модель, описывающая изменение формы наноостровков, выращиваемых методом селективной эпитаксии. Модель основана на минимизации поверхностной энергии при заданном объеме. Рассмотрена морфология, в которой островок огранен боковыми фасетками (101) и (112) и фасеткой (001) на вершине, размер которых изменяется в зависимости от объема. Проведены расчеты длин, аспектных соотношений и площадей поверхности конкурирующих фасеток в зависимости от объема островка.
Ключевые слова: селективная эпитаксия, форма островка, поверхностная энергия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 19-72-30004
Работа выполнена за счет гранта Российского научного фонда № 19-72-30004.
Поступила в редакцию: 06.04.2021
Исправленный вариант: 23.04.2021
Принята в печать: 23.04.2021
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 10, Pages 701–704
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785021070191
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Г. Дубровский, “Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии”, Письма в ЖТФ, 47:14 (2021), 43–46; Tech. Phys. Lett., 47:10 (2021), 701–704
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Dub21}
\by В.~Г.~Дубровский
\paper Изменение формы наноостровка при селективной эпитаксии
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 14
\pages 43--46
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4737}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51187.18811}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46333472}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 10
\pages 701--704
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785021070191}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4737
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i14/p43
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025