Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 14, страницы 26–29
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51183.18766 (Mi pjtf4733) 		 
Особенности роста гетероструктур нитрида галлия на подложках кремния: управляемая пластическая деформация

И. С. Езубченко, М. Я. Черных, П. А. Перминов, Ю. В. Грищенко, И. Н. Трунькин, И. А. Черных, М. Л. Занавескин

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
PDF полного текста (1523 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51183.18766
Аннотация: Методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений выращены нитрид-галлиевые гетероструктуры на подложках кремния. Обнаружены пластические деформации подложки при температурах 930 – 975$^\circ$C, возникающие в процессе роста при эффективном накоплении сжимающих напряжений в пленке. Предложен способ осуществления управляемой пластической деформации кремния за счет проведения высокотемпературного отжига, совмещенного с ростом in situ слоя SiN$_{x}$, после роста гетероструктуры. Данный подход позволит упростить подбор архитектуры нитрид-галлиевых гетероструктур для различных технологических задач.
Ключевые слова: нитридная гетероструктура, металлоорганическая газофазная эпитаксия, нитрид галлия, кремний, пластическая деформация.
Финансовая поддержка Номер гранта
Национальный исследовательский центр Курчатовский институт 1055
Работа выполнена при финансовой поддержке Национального исследовательского центра “Курчатовский институт” (приказ № 1055 от 02.07.2020 г.).
Поступила в редакцию: 12.03.2021
Исправленный вариант: 06.04.2021
Принята в печать: 20.04.2021
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 10, Pages 705–708
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785021070208
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. С. Езубченко, М. Я. Черных, П. А. Перминов, Ю. В. Грищенко, И. Н. Трунькин, И. А. Черных, М. Л. Занавескин, “Особенности роста гетероструктур нитрида галлия на подложках кремния: управляемая пластическая деформация”, Письма в ЖТФ, 47:14 (2021), 26–29; Tech. Phys. Lett., 47:10 (2021), 705–708
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{EzuChePer21}
\by И.~С.~Езубченко, М.~Я.~Черных, П.~А.~Перминов, Ю.~В.~Грищенко, И.~Н.~Трунькин, И.~А.~Черных, М.~Л.~Занавескин
\paper Особенности роста гетероструктур нитрида галлия на подложках кремния: управляемая пластическая деформация
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 14
\pages 26--29
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4733}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51183.18766}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46333468}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 10
\pages 705--708
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785021070208}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4733
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i14/p26
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025