|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Лазерное травление германия
В. Ю. Железновa, Т. В. Малинскийa, С. И. Миколуцкийa, В. Е. Рогалинa, С. А. Филинa, Ю. В. Хомичa, В. А. Ямщиковa, И. А. Каплуновb, А. И. Ивановаb a Институт электрофизики и электроэнергетики РАН, г. Санкт-Петербург
b Тверской государственный университет
Аннотация:
При исследовании сканирования полированной поверхности монокристаллов германия сфокусированным частотно-импульсным излучением ультрафиолетового Nd:YAG-лазера выявлено, что при предпороговых плотностях энергии (при $E$ $\sim$ 0.5 – 1.15 J/cm$^{2}$) в отсутствие заметных следов кратерообразования наблюдалось лазерное травление. Предполагается, что центрами зарождения абляции являются дислокации, выходящие на поверхность кристалла.
Ключевые слова:
УФ-лазер, наносекундный импульс, порог оптического пробоя, абляция, лазерное травление, монокристалл германия.
Поступила в редакцию: 03.02.2021 Исправленный вариант: 11.04.2021 Принята в печать: 12.04.2021
Образец цитирования:
В. Ю. Железнов, Т. В. Малинский, С. И. Миколуцкий, В. Е. Рогалин, С. А. Филин, Ю. В. Хомич, В. А. Ямщиков, И. А. Каплунов, А. И. Иванова, “Лазерное травление германия”, Письма в ЖТФ, 47:14 (2021), 18–20; Tech. Phys. Lett., 47:10 (2021), 734–736
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4731 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i14/p18
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 66 | PDF полного текста: | 18 |
|