Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2021, том 47, выпуск 14, страницы 18–20
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51181.18724 (Mi pjtf4731) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Лазерное травление германия

В. Ю. Железновa, Т. В. Малинскийa, С. И. Миколуцкийa, В. Е. Рогалинa, С. А. Филинa, Ю. В. Хомичa, В. А. Ямщиковa, И. А. Каплуновb, А. И. Ивановаb

a Институт электрофизики и электроэнергетики РАН, г. Санкт-Петербург
b Тверской государственный университет
PDF полного текста (1474 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51181.18724
Аннотация: При исследовании сканирования полированной поверхности монокристаллов германия сфокусированным частотно-импульсным излучением ультрафиолетового Nd:YAG-лазера выявлено, что при предпороговых плотностях энергии (при $E$ $\sim$ 0.5 – 1.15 J/cm$^{2}$) в отсутствие заметных следов кратерообразования наблюдалось лазерное травление. Предполагается, что центрами зарождения абляции являются дислокации, выходящие на поверхность кристалла.
Ключевые слова: УФ-лазер, наносекундный импульс, порог оптического пробоя, абляция, лазерное травление, монокристалл германия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0057-2019-0005
0817-2020-0007
Работа выполнена в рамках государственного задания по научной деятельности № 0057-2019-0005 и 0817-2020-0007 с использованием ресурсов Центра коллективного пользования Тверского государственного университета.
Поступила в редакцию: 03.02.2021
Исправленный вариант: 11.04.2021
Принята в печать: 12.04.2021
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2021, Volume 47, Issue 10, Pages 734–736
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785021070282
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Ю. Железнов, Т. В. Малинский, С. И. Миколуцкий, В. Е. Рогалин, С. А. Филин, Ю. В. Хомич, В. А. Ямщиков, И. А. Каплунов, А. И. Иванова, “Лазерное травление германия”, Письма в ЖТФ, 47:14 (2021), 18–20; Tech. Phys. Lett., 47:10 (2021), 734–736
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZheMalMik21}
\by В.~Ю.~Железнов, Т.~В.~Малинский, С.~И.~Миколуцкий, В.~Е.~Рогалин, С.~А.~Филин, Ю.~В.~Хомич, В.~А.~Ямщиков, И.~А.~Каплунов, А.~И.~Иванова
\paper Лазерное травление германия
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2021
\vol 47
\issue 14
\pages 18--20
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf4731}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2021.14.51181.18724}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46333466}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2021
\vol 47
\issue 10
\pages 734--736
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785021070282}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4731
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i14/p18
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:66
    PDF полного текста:18
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024