|
Модификация гребневых волноводов полупроводниковых лазеров фокусированным ионным пучком
А. С. Паюсовa, М. И. Митрофановab, Г. О. Корнышовc, А. А. Серинa, Г. В. Вознюкa, М. М. Кулагинаa, В. П. Евтихиевa, Н. Ю. Гордеевa, М. В. Максимовc, S. Breuerd a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, г. Санкт-Петербург
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова
Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Institute of Applied Physics, Technische Universität Darmstadt, Darmstadt, Germany
Аннотация:
Проведено исследование травления гребневых волноводов торцевых полупроводниковых лазеров на двойной гетероструктуре с раздельным ограничением фокусированным ионным пучком. Показано, что по степени влияния на лазерные параметры существует три диапазона глубин травления: травление на небольшую глубину приводит лишь к модификации характеристик волновода, увеличение глубины травления вызывает уменьшение дифференциальной эффективности без изменения порогового тока, более глубокое травление вносит дефекты в активную область и вызывает одновременное ухудшение порогового тока и дифференциальной эффективности при существенной модификации оптических характеристик лазера.
Ключевые слова:
фокусированный ионный пучок, полупроводниковый лазер, оптический волновод, одномодовый режим работы.
Поступила в редакцию: 28.07.2021 Исправленный вариант: 12.09.2021 Принята в печать: 28.09.2021
Образец цитирования:
А. С. Паюсов, М. И. Митрофанов, Г. О. Корнышов, А. А. Серин, Г. В. Вознюк, М. М. Кулагина, В. П. Евтихиев, Н. Ю. Гордеев, М. В. Максимов, S. Breuer, “Модификация гребневых волноводов полупроводниковых лазеров фокусированным ионным пучком”, Письма в ЖТФ, 47:24 (2021), 51–54
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4604 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i24/p51
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 129 | PDF полного текста: | 44 |
|