|
Письма в Журнал технической физики, 1992, том 18, выпуск 6, страницы 59–62
(Mi pjtf4236)
|
|
|
|
О переносе примеси фосфора из сублимирующегося источника SiC
в эпитаксиальный слой
Е. Н. Мохов, В. А. Дидик, В. В. Козловский
Образец цитирования:
Е. Н. Мохов, В. А. Дидик, В. В. Козловский, “О переносе примеси фосфора из сублимирующегося источника SiC
в эпитаксиальный слой”, Письма в ЖТФ, 18:6 (1992), 59–62
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf4236 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v18/i6/p59
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 44 | PDF полного текста: | 21 |
|