|
Письма в Журнал технической физики, 1991, том 17, выпуск 5, страницы 69–72
(Mi pjtf3714)
|
|
|
|
Флуктуации зарядового
состояния ионов: возможная причина
увеличения
дисперсии пробегов при высокоэнергетичной ионной имплантации
А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, С. А. Федотов
Образец цитирования:
А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, С. А. Федотов, “Флуктуации зарядового
состояния ионов: возможная причина
увеличения
дисперсии пробегов при высокоэнергетичной ионной имплантации”, Письма в ЖТФ, 17:5 (1991), 69–72
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf3714 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v17/i5/p69
|
|