|
Письма в Журнал технической физики, 1990, том 16, выпуск 18, страницы 39–42
(Mi pjtf3448)
|
|
|
|
Оптимизация процесса реактивного магнетронного напыления пленок NbN
Я. Бидзиньски, Е. К. Гольман, А. Г. Зайцев
Образец цитирования:
Я. Бидзиньски, Е. К. Гольман, А. Г. Зайцев, “Оптимизация процесса реактивного магнетронного напыления пленок NbN”, Письма в ЖТФ, 16:18 (1990), 39–42
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf3448 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v16/i18/p39
|
|