Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 1990, том 16, выпуск 7, страницы 43–47 (Mi pjtf3191)  
Влияние диффузии в тепловом пике на разрешение методов анализа распределения примесей по глубине, использующих ионное травление

М. П. Ватник, Ю. В. Трушин
PDF полного текста (446 kB)
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. П. Ватник, Ю. В. Трушин, “Влияние диффузии в тепловом пике на разрешение методов анализа распределения примесей по глубине, использующих ионное травление”, Письма в ЖТФ, 16:7 (1990), 43–47
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Tru90}
\by М.~П.~Ватник, Ю.~В.~Трушин
\paper Влияние диффузии в~тепловом пике
на разрешение методов анализа
распределения примесей по глубине, использующих ионное травление
\jour Письма в ЖТФ
\yr 1990
\vol 16
\issue 7
\pages 43--47
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf3191}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf3191
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v16/i7/p43
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:59
    PDF полного текста:18
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024