Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 1989, том 15, выпуск 17, страницы 55–57 (Mi pjtf2859)  
Электронно-лучевой метод переноса на полупроводниковую пластину рисунка трафаретного шаблона с элементами размером $\sim0.1$ мкм

К. А. Валиев, Л. В. Беликов, Р. Х. Махмутов, С. Н. Сидорук, B. C. Якунин
PDF полного текста (1703 kB)
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. А. Валиев, Л. В. Беликов, Р. Х. Махмутов, С. Н. Сидорук, B. C. Якунин, “Электронно-лучевой метод переноса на полупроводниковую пластину рисунка трафаретного шаблона с элементами размером $\sim0.1$ мкм”, Письма в ЖТФ, 15:17 (1989), 55–57
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Val89}
\by К.~А.~Валиев, Л.~В.~Беликов, Р.~Х.~Махмутов, С.~Н.~Сидорук, B.~C.~Якунин
\paper Электронно-лучевой метод переноса
на полупроводниковую пластину
рисунка трафаретного шаблона с~элементами размером $\sim0.1$\,мкм
\jour Письма в ЖТФ
\yr 1989
\vol 15
\issue 17
\pages 55--57
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf2859}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf2859
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v15/i17/p55
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:45
    PDF полного текста:19
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024