|
Письма в Журнал технической физики, 1984, том 10, выпуск 11, страницы 645–649
(Mi pjtf1262)
|
|
|
|
Влияние среды отжига на свойства радиационно-легированного кремния
(РЛК)
И. Н. Воронов, И. М. Греськов, П. М. Гринштейн, Р. И. Гучетль, М. А. Мороховец, Н. А. Соболев, А. А. Стук, В. А. Харченко, В. Е. Челноков, Е. И. Шек
Образец цитирования:
И. Н. Воронов, И. М. Греськов, П. М. Гринштейн, Р. И. Гучетль, М. А. Мороховец, Н. А. Соболев, А. А. Стук, В. А. Харченко, В. Е. Челноков, Е. И. Шек, “Влияние среды отжига на свойства радиационно-легированного кремния
(РЛК)”, Письма в ЖТФ, 10:11 (1984), 645–649
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf1262 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v10/i11/p645
|
|