|
Письма в Журнал технической физики, 1985, том 11, выпуск 24, страницы 1512–1515
(Mi pjtf1091)
|
|
|
|
Нарушение элементного состава в $Si\,O_2$ при ионно-активированном химическом травлении
Л. Й. Пранявичюс, С. Й. Тамулевичюс, А. П. Матюкас Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкус
Поступила в редакцию: 24.07.1985
Образец цитирования:
Л. Й. Пранявичюс, С. Й. Тамулевичюс, А. П. Матюкас, “Нарушение элементного состава в $Si\,O_2$ при ионно-активированном химическом травлении”, Письма в ЖТФ, 11:24 (1985), 1512–1515
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf1091 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v11/i24/p1512
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 42 | PDF полного текста: | 13 |
|