|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 2, страницы 264–268
(Mi phts6550)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Особенности роста InN методом МПЭ с плазменной активацией азота при различных соотношениях потоков элементов III и V групп
Д. Н. Лобановab, А. В. Новиковab, Б. А. Андреевab, П. А. Бушуйкинa, П. А. Юнинa, Е. В. Скороходовa, Л. В. Красильниковаba a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
Представлены результаты исследований влияния соотношения потоков элементов III и V групп на структурные и оптические свойства формируемой методом МПЭ ПА пленки InN. Было показано, что при соотношении потоков III/V $<$ 0.6 слой InN состоит из отдельно стоящих наноколонн. В диапазоне соотношений 0.6 $<$ III/V $<$ 0.9 рост InN становится двумерным, однако слой InN обладает нанопористой структурой. При переходе к металлобогащенным условиям роста (III/V $\sim$ 1.1) слой InN становится сплошным. Переход от трехмерного роста к двумерному сопровождается увеличением плотности прорастающих дислокаций. Это приводит к снижению интенсивности сигнала фотолюминесценции InN при комнатной температуре. Концентрация электронов в слоях InN составила $\sim$5 $\cdot$10$^{18}$ см$^{-3}$, что приводит к сдвигу максимума сигнала ФЛ в область длин волн 1.73–1.8 мкм и сдвигу края поглощения в область $\sim$1.65 мкм.
Поступила в редакцию: 28.05.2015 Принята в печать: 05.06.2015
Образец цитирования:
Д. Н. Лобанов, А. В. Новиков, Б. А. Андреев, П. А. Бушуйкин, П. А. Юнин, Е. В. Скороходов, Л. В. Красильникова, “Особенности роста InN методом МПЭ с плазменной активацией азота при различных соотношениях потоков элементов III и V групп”, Физика и техника полупроводников, 50:2 (2016), 264–268; Semiconductors, 50:2 (2016), 261–265
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6550 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i2/p264
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 22 | PDF полного текста: | 14 |
|