|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 2, страницы 180–184
(Mi phts6534)
|
|
|
|
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Электрофизические и оптические свойства оксидных нанослоев, полученных термическим окислением металлического олова
С. В. Рябцев, О. А. Чувенкова, С. В. Канныкин, А. Е. Попов, Н. С. Рябцева, С. С. Воищев, С. Ю. Турищев, Э. П. Домашевская Воронежский государственный университет
Аннотация:
Тонкие слои SnO$_{2-x}$ толщиной 30 нм были изготовлены методом термического окисления нанослоев металлического олова при температуре 450 – 750$^\circ$C. Изучены их электрофизические и оптические свойства. В процессе термического окисления нанослоев олова обнаружено немонотонное изменение их электропроводности. Для оксидных пленок, полученных при 450 и 550$^\circ$C, в оптических спектрах обнаружена полоса поглощения при 340 нм (3.65 эВ). Определена энергия активации электропроводности образцов с различной степенью окисления. На основании полученных экспериментальных и литературных данных предложен механизм окисления нанослоев олова, определяющий их свойства.
Поступила в редакцию: 04.06.2015 Принята в печать: 24.06.2015
Образец цитирования:
С. В. Рябцев, О. А. Чувенкова, С. В. Канныкин, А. Е. Попов, Н. С. Рябцева, С. С. Воищев, С. Ю. Турищев, Э. П. Домашевская, “Электрофизические и оптические свойства оксидных нанослоев, полученных термическим окислением металлического олова”, Физика и техника полупроводников, 50:2 (2016), 180–184; Semiconductors, 50:2 (2016), 180–184
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6534 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i2/p180
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 38 | PDF полного текста: | 22 |
|