|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 3, страницы 423–430
(Mi phts6527)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Оптические и структурные свойства композитных слоев Si : Au, полученных лазерным электродиспергированием
О. С. Кен, В. С. Левицкий, Д. А. Явсин, С. А. Гуревич, В. Ю. Давыдов, О. М. Сресели Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Исследованы композитные слои Si–Au, полученные методом лазерного электродиспергирования с различными соотношениями Si : Au. Исследована микроскопическая структура слоев, измерены спектры комбинационного рассеяния света, оптического пропускания и отражения слоев. Показано, что распыление двухкомпонентной мишени Si–Au сильно изменяет морфологию слоев. С увеличением содержания золота в мишени слои становятся неоднородными, появляется большое количество включений, содержащих нанокристаллы кремния и некоторое количество золота. Включения при распылении двухкомпонентной мишени, скорее всего, образуются из больших расплавленных капель, вылетевших из мишени и не успевших разделиться до нанометровых размеров. Нанокристаллическая структура включений объяснена медленным и неоднородным процессом охлаждения частиц на подложке. Сделан вывод, что изменения спектров и фоточувствительности гетероструктур с исследованными слоями вызваны образованием включений, содержащих нанокристаллы кремния с добавлением золота.
Поступила в редакцию: 17.09.2015 Принята в печать: 25.09.2015
Образец цитирования:
О. С. Кен, В. С. Левицкий, Д. А. Явсин, С. А. Гуревич, В. Ю. Давыдов, О. М. Сресели, “Оптические и структурные свойства композитных слоев Si : Au, полученных лазерным электродиспергированием”, Физика и техника полупроводников, 50:3 (2016), 423–430; Semiconductors, 50:3 (2016), 418–425
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6527 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i3/p423
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 41 | PDF полного текста: | 11 |
|