|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 5, страницы 700–705
(Mi phts6476)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Формирование и реконструкция наноостровков Se на поверхности тонких эпитаксиальных слоев ZnSe, выращенных на подложках GaAs
В. И. Козловскийab, В. С. Кривобокab, П. И. Кузнецовc, С. Н. Николаевa, Е. Е. Онищенкоa, А. А. Пручкинаa, А. Г. Тимирязевc, В. П. Мартовицкийa a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
c Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
Аннотация:
Методом парофазной эпитаксии из металлоорганических соединений на подложках GaAs выращены напряженные эпитаксильные слои ZnSe. Обнаружено, что на поверхности таких слоев формируются наноостровки Se плотностью от 10$^{8}$ до 10$^{9}$ см$^{-2}$. Установлено, что после завершения роста происходит увеличение размера островков Se и уменьшение их плотности. Отжиг в атмосфере H$_{2}$ при температуре выше 260$^\circ$C приводит к исчезновению островка Se и уменьшению шероховатости поверхности. Показано, что отжиг не ведет к ухудшению структурного совершенства эпитаксиальных пленок ZnSe, при этом способствуя уменьшению интенсивности примесно-дефектной люминесценции и увеличению интенсивности собственного излучения вблизи дна экситонной зоны.
Поступила в редакцию: 06.10.2015 Принята в печать: 16.10.2015
Образец цитирования:
В. И. Козловский, В. С. Кривобок, П. И. Кузнецов, С. Н. Николаев, Е. Е. Онищенко, А. А. Пручкина, А. Г. Тимирязев, В. П. Мартовицкий, “Формирование и реконструкция наноостровков Se на поверхности тонких эпитаксиальных слоев ZnSe, выращенных на подложках GaAs”, Физика и техника полупроводников, 50:5 (2016), 700–705; Semiconductors, 50:5 (2016), 688–693
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6476 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i5/p700
|
|