Исследование фазового состава наноразмерных структур, полученных локальным анодным окислением пленок титана

Представлены результаты экспериментальных исследований фазового состава оксидных наноразмерных структур, сформированных методом локального анодного окисления тонкой пленки титана. Результаты фазового анализа оксидных наноразмерных структур титана получены методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии в режиме ионного профилирования. Установлено, что поверхность оксидных наноразмерных структур титана высотой 4.5 $\pm$ 0.2 нм характеризуются энергией связи остовных уровней, характерных для TiO$_{2}$ (458.4 эВ). При анализе оксидных наноразмерных структур титана по глубине методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено формирование фаз с энергией связи остовных уровней, характерных для Ti$_{2}$O$_{3}$ (456.6 эВ) и TiO (454.8 эВ). Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления перспективной электронной компонентной базы наноэлектроники на основе оксидных наноразмерных структур титана с использованием зондовых нанотехнологий.