|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 6, страницы 767–771
(Mi phts6436)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 11 научных статьях (всего в 11 статьях)
Электронные свойства полупроводников
Радиационно-индуцированные бистабильные центры с глубокими уровнями в кремниевых $n^{+}$–$p$-структурах
С. Б. Ластовскийa, В. П. Маркевичb, А. С. Якушевичa, Л. И. Муринa, В. П. Крыловc a Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Республика Беларусь
b Университет г. Манчестер, Манчестер, Англия
c Владимирский государственный университет
Аннотация:
Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS) исследованы электрически активные дефекты в кристаллах кремния $p$-типа, облученных быстрыми электронами и $\alpha$-частицами. Обнаружен и исследован новый радиационно-индуцированный дефект, обладающий свойствами бистабильных центров. После длительного хранения облученных образцов при комнатной температуре либо их кратковременного отжига при $T\sim$ 370 K дефект не проявляет электрической активности в кремнии $p$-типа. Однако в результате последующей инжекции неосновных носителей заряда данный центр переходит в метастабильную конфигурацию с глубокими уровнями у $E_{V}$ + 0.45 эВ и $E_{V}$ + 0.54 эВ. Обратный переход в основную конфигурацию имеет место в диапазоне температур 50–100$^\circ$C и характеризуется энергией активации $\sim$ 1.25 эВ и частотным фактором $\sim$5 $\cdot$ 10$^{15}$ с$^{-1}$. Обнаруженный дефект термически стабилен до $T\sim$ 450 K. Предполагается, что данный дефект может быть либо комплексом собственный межузельный атом кремния-межузельный атом углерода, либо комплексом собственный межузельный атом кремния-межузельный атом бора.
Поступила в редакцию: 01.12.2015 Принята в печать: 08.12.2015
Образец цитирования:
С. Б. Ластовский, В. П. Маркевич, А. С. Якушевич, Л. И. Мурин, В. П. Крылов, “Радиационно-индуцированные бистабильные центры с глубокими уровнями в кремниевых $n^{+}$–$p$-структурах”, Физика и техника полупроводников, 50:6 (2016), 767–771; Semiconductors, 50:6 (2016), 751–755
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6436 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i6/p767
|
|