|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 7, страницы 979–986
(Mi phts6424)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Физика полупроводниковых приборов
Электрохимическое литирование кремния с разной кристаллографической ориентацией
Е. В. Астрова, А. М. Румянцев, Г. В. Ли, А. В. Нащекин, Д. Ю. Казанцев, Б. Я. Бер, В. В. Жданов Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Для изучения анизотропии внедрения лития в кремниевые аноды литий-ионных аккумуляторов использовались микроструктуры в виде сетки с вертикальными стенками толщиной 0.5 мкм и пластины монокристаллического кремния, имеющие разную ориентацию. Электрохимическое литирование проводилось при комнатной температуре в гальваностатическом режиме. Исследовались зарядные кривые микроструктурных и плоских кремниевых анодов. С помощью вторичной ионной масс-спектрометрии определялось распределение внедренных атомов Li по глубине пластины. Для анализа экспериментальных данных использовалась двухфазная модель, согласно которой процесс литирования лимитируется скоростью продвижения фронта между аморфным сплавом с высоким содержанием Li и кристаллической кремниевой подложкой. Определено соотношение между скоростями внедрения лития в разные кристаллографические плоскости: (110), (111) и (100) $V_{110}:V_{111}:V_{100}$ = 3.1:1.1:1.0. Продемонстрировано, что микроструктурные аноды со стенками (110) имеют наиболее высокий циклический ресурс и при скорости заряда/разряда 0.36 С выдерживают $\sim$600 циклов.
Поступила в редакцию: 09.12.2015 Принята в печать: 17.12.2015
Образец цитирования:
Е. В. Астрова, А. М. Румянцев, Г. В. Ли, А. В. Нащекин, Д. Ю. Казанцев, Б. Я. Бер, В. В. Жданов, “Электрохимическое литирование кремния с разной кристаллографической ориентацией”, Физика и техника полупроводников, 50:7 (2016), 979–986; Semiconductors, 50:7 (2016), 963–969
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6424 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i7/p979
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 52 | PDF полного текста: | 22 |
|