|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 7, страницы 967–972
(Mi phts6422)
|
|
|
|
Углеродные системы
Электронографическое исследование стадий формирования графеновой пленки при термодеструкции 6$H$-SiC (000$\bar1$) в вакууме
И. С. Котоусоваa, С. П. Лебедевab, А. А. Лебедевba a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Проведено электронографическое исследование структуры графеновых слоев, полученных сублимацией на поверхности подложки 6$H$-SiC (000$\bar1$), в зависимости от температуры сублимации и способа предобработки поверхности подложки. Установлено, что применение полирующего сублимационного травления подложки перед термодеструкцией при температуре 1350$^\circ$C на поверхности подложки приводит к образованию доменов монокристаллического графена с разворотом его кристаллической решетки на 30$^\circ$ относительно решетки SiC и небольшой доли доменов с аморфной структурой. Повышение температуры до 1500$^\circ$C приводит к частичному образованию в пленке поликристаллической фазы графена с турбостратной структурой при сохранении преимущественной ориентации кристаллитов графена, как при 1350$^\circ$C. Применение предростового отжига перед термодеструкцией позволяет вырастить графеновую пленку с более упорядоченной и однородной структурой без включений в нее аморфной и поликристаллической составляющих. Преимущественная ориентация доменов графена в пленке остается неизменной.
Поступила в редакцию: 28.12.2015 Принята в печать: 11.01.2016
Образец цитирования:
И. С. Котоусова, С. П. Лебедев, А. А. Лебедев, “Электронографическое исследование стадий формирования графеновой пленки при термодеструкции 6$H$-SiC (000$\bar1$) в вакууме”, Физика и техника полупроводников, 50:7 (2016), 967–972; Semiconductors, 50:7 (2016), 951–956
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6422 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i7/p967
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 24 | PDF полного текста: | 5 |
|