|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 8, страницы 1055–1058
(Mi phts6385)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Оперативный контроль полупроводниковых кристаллов InSe и GaSe методом ядерного квадрупольного резонанса
А. П. Самилаa, Г. И. Ластивкаa, В. А. Хандожкоb, З. Д. Ковалюкc a Черновицкий национальный университет им. Ю. Федьковича
b Телерадиокомпания "НБМ", Киев, Украина
c Черновицкое отделение Института проблем материаловедения Национальной академии наук Украины, Черновцы, Украина
Аннотация:
Для определения качества полупроводникового монокристалла слоистой структуры применен метод ядерного квадрупольного резонанса с последовательным сканированием всего объема образца и оценкой совершенства кристалла по наблюдаемым спектрам. Предложенный способ приемлем для слитков InSe, GaSe, GaS, выращенных методом Бриджмена в вакуумированных ампулах, и может применяться неоднократно при последующих технологических процедурах без доступа оператора к материалу. Для обеспечения ограниченной зоны сканирования исследуемого образца и эффективного взаимодействия высокочастотного (ВЧ) поля с кристаллом возбуждение и прием сигнала ядерной спиновой индукции производятся приемно-передающей катушкой спектрометра ЯКР седлообразной формы.
Поступила в редакцию: 28.12.2015 Принята в печать: 01.02.2016
Образец цитирования:
А. П. Самила, Г. И. Ластивка, В. А. Хандожко, З. Д. Ковалюк, “Оперативный контроль полупроводниковых кристаллов InSe и GaSe методом ядерного квадрупольного резонанса”, Физика и техника полупроводников, 50:8 (2016), 1055–1058; Semiconductors, 50:8 (2016), 1034–1037
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6385 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i8/p1055
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 46 | PDF полного текста: | 14 |
|