Электрические, оптические и фотолюминесцентные свойства пленок ZnO при термическом отжиге и обработке в водородной плазме

Исследованы спектры фотолюминесценции и оптического поглощения, электрические свойства пленок ZnO, выращенных методом MOCVD и гидротермальным методом, при термических обработках и плазменной обработке в водородной атмосфере. Показано, что адсорбция кислорода на границах зерен, происходящая при отжиге в окислительной атмосфере, определяет электрические свойства пленок. Отжиг в вакууме улучшает электрические свойства образцов после деградации, вызванной отжигом на воздухе, обработка в водородной плазме пассивирует поверхностные состояния на границах зерен. Интенсивность собственной фотолюминесценции после плазменной обработки тем выше, чем больше количество кислорода, адсорбированного на поверхность зерен во время отжига на воздухе. Поверхностные состояния, включающие атомы водорода и кислорода, ответственны за появление интенсивной полосы собственной фотолюминесценции.